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晶圆级装片机
MSC-H912FC Super
12吋超高精度倒装装片机
特点
线性马达驱动点胶/贴片头
高精度贴片
精准吸取/贴片压力控制
FLUX DIPPING
MAPPING
SECS/GEM通讯
大理石一体床身
高精度气浮贴片头
X-ray检测
L x W x H
2,200x1,450x1,450 mm
精度
LOCAL accuracy:3μm @ 3σ
Global accuracy(FO-WLP):5μm @ 3σ
可选配功能
自动上晶圆
机器内部自带空气净化系统
适用产品
FOWLP,FC-BGA,C2W,C2S,HAFC,TSV,TGV